实验五 MPX扩散硅压阻式传感器
一、实验目的
1，通过改变交流全桥的激励频率以提高和改善测试系统的抗干扰性和灵敏度。
2，了解压阻式传感器的结构特点； 3，掌握气压与电压之间的特性关系； 4，熟悉气囊的使用。
二、实验原理
MPX压阻式传感器芯片是集成工艺技术在硅片上制造出四个呈X型的等值电阻组成的电路，它用激光修正，温度补偿，所以线性好，灵敏度高，重复性好。工作原理图如下所示：
三、实验设备与器件
1、MPX压力传感器 2、应变式传感器实验模块 3、气压源 4、胶管 5、电压表 6、气压泵 7、长短接线十根
四、实验内容
1、连接主机与实验模块的电源线与探头连接线，胶管连接气压源输出与压力传感器输入口（传感器另一端空置感受大气压力）
2、差动放大器增益调置于最大位置（顺时针旋到底） 3、接好实验接线，如下图所示
4、开启主机电源，调节电桥WD调零电位器，使实验模块输出为零，开启
气源开关，逐步加大气压，观察随气压上升模块电压输出的变化情况。
5、待到气压相对稳定后，调节模块增益使电压值与气压值成一定比例关系，并记录P（kp）与V（mV）的对应值。
P（kp） V（Mv） 6、根据P、V值，在坐标上做出P—W曲线。
7、利用气囊，观察气压下降到某一固定值时相对的电压值。
五、实验注意事项
1、气源平时要关闭，以免影响其他电路工作。 2、胶管要避免油污，以免造成老化破坏。 3、电压表拨在+2V档，电源给定+4V。