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一种六氟化钨的合成方法[发明专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:一种六氟化钨的合成方法专利类型:发明专利发明人:张建长,雷海平申请号:CN201710996957.X申请日:20171020公开号:CN107540020A公开日:20180105

摘要:一种六氟化钨的合成方法。它是将钨粉与金属氟化物装入反应器中充分混合,在反应条件下通入氟气进行反应合成六氟化钨,未反应完的原料氟气与产物六氟化钨经过冷凝气液分离后,再返回反应器循环反应。本发明合成方法使用循环的氟气和钨粉在金属氟化物的存在下进行反应,有效提高了该反应的效率,减少了原料氟气的浪费,并有效减小反应器所需体积。

申请人:欧中电子材料(重庆)有限公司

地址:401220 重庆寿区晏家街道齐心大道20号4-2室

国籍:CN

代理机构:南京经纬专利商标代理有限公司

代理人:楼高潮

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