（19）中华人民共和国国家知识产权局
（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201911009466.7 （22）申请日 2019.10.23
（71）申请人 济南力冠电子科技有限公司
地址 250119 山东省济南市天桥区桑梓店镇舜兴路66号济南新材料产业科技园1号楼
（10）申请公布号 CN110594385A
（43）申请公布日 2019.12.20
1层西区
（72）发明人 宋德鹏;于涛
（74）专利代理机构 山东众成清泰律师事务所
代理人 丁修亭
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
真空腔室动密封驱动总成
（57）摘要
本发明公开了一种真空腔室动密封驱动总
成，其基本结构包括：管架，为直管体，该直管体的轴向为预定的直线运动方向，且该直管体的一端与真空腔室间固定连接；直线驱动部，固定安装管架的另一端；托板，位于管架内，并由所述直线驱动部的输出构件所驱动；托杆，通过第一轴承安装在托板上，为驱动总成的驱动对象；键套，通过第二轴承安装在管架内，并与托杆间
形成键连接，使托杆具有轴向的自由度和基于键套的周向自由度；以及旋转驱动部，安装在管架上，并输出驱动所述键套，以使托杆具有预定的旋转运动。依据本发明的驱动总成在实现复合运动的条件下能够具有较好的密封效果。
法律状态
法律状态公告日
2019-12-20 2019-12-20 2019-12-20 2020-01-14 2020-01-14 2020-08-07
法律状态信息
公开 公开 公开
实质审查的生效 实质审查的生效 著录事项变更
法律状态
公开 公开 公开
实质审查的生效 实质审查的生效 著录事项变更
权利要求说明书
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说明书
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