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专利名称：径向位移传感器及磁悬浮分子泵的转子径向位移检
测系统
专利类型：发明专利
发明人：张剀,武涵,李奇志,张小章,邹蒙申请号：CN201110358720.1申请日：20111111公开号：CN102435131A公开日：20120502
摘要：本发明提供一种径向位移传感器及磁悬浮分子泵的转子径向位移检测系统，所述位移传感器包括检测单元和调整单元，所述调整单元用于根据不同磁悬浮分子泵的零件加工和装配精度差异，调整径向位移传感器输出信号的电压幅值。本发明提供的磁悬浮分子泵的转子径向位移检测系统包括上述径向位移传感器，将所述径向位移传感器设置于泵体内，将解调单元和处理单元设置在控制器内，可以实现磁悬浮分子泵与控制器间的互换性，同时能够提高所述径向位移传感器远距离传输时输出信号的信噪比，保证信号质量。
申请人：北京中科科仪技术发展有限责任公司,清华大学
地址：100190 北京市海淀区中关村北二条13号
国籍：CN
代理机构：北京三聚阳光知识产权代理有限公司
代理人：刘守宪
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