专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：一种湿敏晶体管传感器专利类型：实用新型专利发明人：王中健,肖兵,梁欢,黄肖艳申请号：CN201820959934.1申请日：20180621公开号：CN208270479U公开日：20181221
摘要：本实用新型公开了一种湿敏晶体管传感器，其中，晶体管传感器包括高掺硅层和二氧化硅层，所述二氧化硅层设于所述高掺硅层的上部，所述二氧化硅层的上端设有二硫化钼层，所述二氧化硅层上设有源极和漏极，所述源极与漏极分别位于所述二硫化钼层的两相对侧，所述高掺硅层上设有栅极。本实用新型的晶体管传感器在尺寸上得到了高度的压缩，利用MoS2独特的电子性质，起到很好的气体吸附的性能，对环境中的水气具有灵敏度高、稳定性好、与传统的微纳加工工艺兼容等优点。
申请人：季优科技(上海)有限公司
地址：2019 上海市嘉定区菊园新区环城路2222号1幢J246室
国籍：CN
代理机构：上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：邓文武
更多信息请下载全文后查看